MEMS (Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム）とは
電子回路にメカやセンサーなどを組み込み、集積したデバイスを指します。電気信号を機械的な動きに変換することや、逆に外的な力を電気信号に変換することができます。微細な加工を必要とするため、半導体集積回路の製造プロセスを応用して作ります。
MEMSの代表例としては、プリンタのインクジェットヘッド、自動車のエアバッグに用いられる加速度センサー、スマートフォンのディスプレイを制御するジャイロスコープ等が挙げられます。
